Мишени для магнетронного распыления из высокочистой медной шины (4N-6N)
Видео
Мишень для магнетронного распыления высокочистой медной шины – Заявление о процессе и обеспечении качества
Наши мишени из медных шин специально разработаны для крупномасштабного и высокопроизводительного физического осаждения из паровой фазы, где равномерное покрытие на больших участках имеет решающее значение.
Основные особенности процесса
В производстве используются передовые металлургические и механические технологии для обеспечения стабильной производительности:
●Исходный материал: В качестве основы используются высококачественные электролитические медные катоды с подтвержденной сверхвысокой чистотой.
●Вакуумная очистка: Многоступенчатая вакуумная плавка удаляет газообразные и металлические примеси для достижения содержания нитридов 4N-6N.
●Непрерывное литье: Контролируемая горячая экструзия или непрерывное литье позволяют получать длинные, плотные заготовки с однородной структурой.
●Горячая обработка: ковка и прокатка позволяют измельчить размер зерна и достичь почти полной теоретической плотности.
●Точная резка и обработка: распиловка и фрезерование на станках с ЧПУ позволяют получить точные прямоугольные размеры с параллельными гранями.
●Подготовка поверхности: Многоступенчатая шлифовка и полировка позволяют получить чистые, бездефектные поверхности для напыления.
●Варианты соединения: Возможно низкотемпературное соединение индием или эластомерами с подложками из нержавеющей стали или молибдена.
●Упаковка в чистых помещениях: Заключительная ультразвуковая очистка и двойная вакуумная упаковка обеспечивают доставку без загрязнений.
система контроля качества
● Полная прослеживаемость от источника катода до готовой мишени на шине
● Полная сертификация материалов и протоколы испытаний предоставляются с каждым изделием.
● Архивные образцы хранятся не менее 3 лет для независимой проверки (SGS, BV и др.)
● 100% проверка основных параметров:
• Проверка чистоты (анализ GDMS/ICP; содержание кислорода обычно <5 ppm)
• Испытание на плотность (≥99,5% от теоретической)
• Оценка структуры зерна (металлография)
• Точность размеров (координатно-измерительная машина; параллельность ≤0,1 мм, как правило)
• Качество и шероховатость поверхности (профилометр + контроль в чистой комнате)
● Внутренние характеристики превосходят стандарты ASTM F68. Типичные характеристики: теплопроводность >395 Вт/м·К, стабильное распыление без дугового разряда, высокие скорости осаждения в магнетронных системах.











