Мишени для магнетронного распыления из высокочистой меди – квадратные (4N-6N)

Краткое описание:

Технические характеристики изделия
Название: Мишень для магнетронного распыления меди высокой чистоты
Стандарт: ASTM F68 (бескислородная электронная медь), ASTM B115, чистота ≥99,99% (4N-6N), соответствует требованиям RoHS, соответствует требованиям REACH.
Материал: C10100 (медь OFHC), C10200 (бескислородная медь), медь высокой чистоты (4N/5N/6N)
Поверхность: прецизионная шлифовка/полировка, Ra ≤0,4 мкм, опционально индий-оловянное соединение с подложкой.
Диапазон размеров: от 100 мм × 100 мм до 600 мм × 600 мм (квадратные размеры на заказ) Толщина: 3 мм – 50 мм
Уровень чистоты: 99,99% – 99,9999%
Характеристики продукта: Исключительная чистота с низким содержанием кислорода и примесей · Превосходная тепло- и электропроводность · Однородная зернистая структура для стабильного распыления · Высокая плотность (>99,5% от теоретической) · Отличная адгезия пленки и равномерность осаждения · Низкое образование частиц · Длительный срок службы мишени и высокая степень ее использования
Области применения: полупроводниковые межсоединительные слои, тонкопленочные солнечные элементы (CIGS/CdTe), плоские дисплеи (TFT-LCD), оптические покрытия и зеркала, декоративные PVD-покрытия, магнитные носители данных, компоненты для аэрокосмической и автомобильной промышленности, научно-исследовательские лаборатории.

Отправьте нам электронное письмо

Подробная информация о товаре

Метки товаров

Мишень для магнетронного распыления из высокочистой меди – Заявление о процессе и обеспечении качества

Наши квадратные медные мишени для магнетронного распыления изготавливаются в соответствии со строгими стандартами, необходимыми для надежного осаждения тонких пленок в современных процессах нанесения покрытий.
Производство осуществляется в соответствии со строго контролируемым вакуумным процессом для поддержания сверхвысокой чистоты и однородности материала:
●Выбор сырья: В качестве исходного материала используются только сертифицированные электролитические медные катоды (≥99,99%).
●Вакуумная плавка: Индукционная плавка в условиях высокого вакуума или инертной атмосферы минимизирует поглощение кислорода и летучих примесей.
●Литье и рафинирование: Контролируемая направленная кристаллизация позволяет получать слитки с однородным составом и минимальной сегрегацией.
●Горячая обработка: Ковка или горячее прессование позволяют достичь плотности, близкой к теоретической, и мелкозернистой структуры.
●Высокоточная обработка: фрезерование и шлифовка на станках с ЧПУ обеспечивают получение точных квадратных размеров и плоских параллельных поверхностей.
●Обработка поверхности: Многоступенчатая полировка обеспечивает зеркальную поверхность, подходящую для использования в чистых помещениях.
●Дополнительная возможность соединения: возможно соединение индием или эластомером с молибденовыми/медными подложками для регулирования теплоотдачи.
●Заключительная очистка и упаковка: ультразвуковая очистка в сверхчистой воде с последующей вакуумной упаковкой в двухслойные чистые пакеты.

Система контроля качества

● Полная прослеживаемость от партии исходного катода до готового изделия.
● Сертификаты на материалы и протоколы испытаний предоставляются с каждой отгрузкой.
● Срок хранения архивных образцов составляет ≥3 лет для проверки независимыми организациями (SGS, BV и др.).
● 100% проверка критических параметров:
• Чистота и наличие примесей (анализ GDMS/ICP-MS; типичное содержание кислорода <10 ppm)
• Измерение плотности (метод Архимеда; ≥99,5%)
• Размер зерна и микроструктура (металлографическое исследование)
• Точность размеров (координатно-измерительная машина; плоскостность ≤0,05 мм, типичная)
• Шероховатость поверхности и дефекты (профилометр + визуальный осмотр)
● Внутренние характеристики превосходят требования стандарта ASTM F68. Типичные свойства: теплопроводность >390 Вт/м·К, электрическое сопротивление <1,7 мкОм·см, стабильная скорость распыления и качество пленки.
● Технологические процессы, соответствующие требованиям чистых помещений, и производственная база, сертифицированная по стандарту ISO 9001:2015, гарантируют, что каждая цель отвечает самым высоким требованиям современных применений PVD-технологий.